紧凑型等离子设备 PiPi
产品描述：
非常适合研究和开发应用，例如去除有机物、改性树脂和薄膜表面、提高附着力、改善泄漏和去除金属氧化物。设计紧凑，不占用太多空间。
- 发布时间：2024-11-14 09:54:11
- 产品代码：0932521801
- 制造商：PiPi
- 产地：日本
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产品描述
非常适合研究和开发应用，例如去除有机物、改性树脂和薄膜表面、提高附着力、改善泄漏和去除金属氧化物。设计紧凑，不占用太多空间。
产品规格
| 品名 | 紧凑型等离子装置 |
|---|---|
| 模型 | 脸颊 |
| 外形尺寸 | 宽438×深520×高565mm |
| 等离子法 | 反应离子刻蚀模式 |
| 电极构造 | 平行平板式 |
| 高频输出 | （最大）200W |
| 振荡频率 | 13.56兆赫 |
| 舞台尺寸 | 宽130×深130mm |
| 反应气体 | Ar(1系统) |
| 吹扫气体 | N2 或干燥空气 |
| 反应气体流量计 | 流量计 |
| 控制方式 | 顺序控制 |
| 真空泵（单独出售） | 油回転135L/min(50Hz) |
| 电源 | 100V(15A) |
| 数量 | 1台 |