小型等离子装置PR200

小型等离子装置PR200

产品描述:

RF具有200W的高性能输出。由于设备尺寸紧凑,因此可以节省空间的方式安装。 RF 从软件到硬件各不相同,因此用途广泛。由于同步和自动调整,易于操作。 <注意> *请连接真空泵(另售)使用。

  • 发布时间:2024-11-14 09:46:21
  • 产品代码:0972521812
  • 制造商:215016
  • 产地:日本
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产品描述

RF具有200W的高性能输出。由于设备尺寸紧凑,因此可以节省空间的方式安装。 RF 从软件到硬件各不相同,因此用途广泛。由于同步和自动调整,易于操作。 <注意> *请连接真空泵(另售)使用。

产品规格

模型 公关200
外形尺寸 W350×D400×H500mm(不含突出部分)
方式 DP型桶型
控制部分 高频输出 最大200W
控制部分振荡频率 13.56兆赫
控制单元整定方法 自动匹配
反应段 反应槽 耐热玻璃
反应部分 反应气系统 1系统(氧气)流量计
反应部分控制系统 手动泄漏阀
反应部分管道材质 不锈钢、特氟龙
腔室尺寸 φ100mm/D160mm
重量 25公斤
电源容量 交流100V/15A
配件 样品架
数量 1台