3点显示·真空用超小型贴纸真空用·**小标签的一端到示温元件1mm。作为可以测量晶圆边缘温度的等离子氛围对策,用卡普顿胶卷遮盖背面印刷,防止真空中的印刷墨水飞散(*大限度地抑制输出气体)不需要卡顿的重叠粘贴,缩短工作工时,提高粘贴精度。在所有的微波炉中使用卡顿胶卷。
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3点显示·真空用超小型贴纸真空用·**小标签的一端到示温元件1mm。作为可以测量晶圆边缘温度的等离子氛围对策,用卡普顿胶卷遮盖背面印刷,防止真空中的印刷墨水飞散(*大限度地抑制输出气体)不需要卡顿的重叠粘贴,缩短工作工时,提高粘贴精度。在所有的微波炉中使用卡顿胶卷。