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产品规格
模型
T/FA
气体类型
对于甲醛
型式检验合格号
TN487（有机气体用）
***
85克以下
兼容标准
JIS T 8152:2012（甲醛）
目标掩模部件号
TW01、TW01S、TW01C、TW01SC、TW01SFC、TW11C、TW02、TW02S、TW022Sd、TW08S、TW088、TW099
数量
1 罐
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物品描述
可以进行超精细的流量控制。
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种类繁多。
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专用流体以N2列出，但除腐蚀性气体以外的其他气体基本上都可以标定。 （请联系我们）
<注意>
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