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 数字质量流量控制器GFC-200

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物品描述 精度高(±1%RD)、响应快(全区域1秒以内) 兼容多种气体和多种范围 标准配备通讯功能(RS485) 符合RoHS/CE标准

  • 发布时间:2025-01-19 08:48:12
  • 产地:日本
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产品描述

物品描述 精度高(±1%RD)、响应快(全区域1秒以内) 兼容多种气体和多种范围 标准配备通讯功能(RS485) 符合RoHS/CE标准

产品规格

物品描述 精度高(±1%RD)、响应快(全区域1秒以内) 兼容多种气体和多种范围 标准配备通讯功能(RS485) 符合RoHS/CE标准 物品 数字质量流量控制器 模型 GFC-200 目标气体 多种气体* N2(空气、H2、He、Ar、O2、CO2) 配件 1/4F900(标准) 1/4UJR RC1/4 (选一个) 流量范围 多量程* 10/30/50/100/300/500SCCM/1/35SLM (选一个) * 使用专用软件,可以在指定满量程 (FS) 的 30% 和 100% 之间更改气体类型和满量程范围。 规格 传感器方式:热绕式传感器 控制范围:2~100%(满量程) 响应性:1秒内完成全流量控制范围 准确性: ±1.0%RD(>35%FS) ±0.35%FS(≤35%FS) 重复性:±0.25%FS *大入口压力:500kPa 耐压:980kPa 工作温度:5~50℃ 精度保证温度:15~35℃ 允许储存温度:-10~60℃ 允许工作湿度:10~90%RH(无凝露) 气体接触部件材质:SUS316、SU316L、磁性不锈钢、Ni、PTFE、PCTFE、氟橡胶 流量设定信号:0~5VDC(输入阻抗1MΩ以上) 流量输出信号:0~5VDC(*小负载电阻10kΩ以上) 数字信号:使

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