ULVAC Kikou 进排气过滤器 SGT-100

可用于各种真空装置中使用的真空泵的过滤器。可安装在真空侧或排气侧。使用离子交换树脂纤维元件吸附并收集从设备排出的反应产物和粉末。它不仅可以有效捕获废气中的粉末，还可以有效捕获酸性气体和油雾。可以长期保持真空泵和泵油清洁，减少真空泵故障和换油。