这是一款数字质量流量装置,采用稳定性优异的高速绕线传感器和小型比例电磁阀,结构紧凑,标配通信功能(RS485),实现高精度和高速响应。 *2高速响应和出色的零点稳定性。输入/输出信号为0-5V,电源为±15V。电源连接器采用高度通用的 D-sub 9 槽连接器。通过切换旋转开关,可以使用主机中注册的气体类型。符合 RoHS 和 CE 标准。读数单元是一种方便的单元,通过将其连接到质量流量控制器或质量流量计,您可以使用流量测量和控制等基本质量流量功能以及流量积分功能和流量事件输出功能用电缆。
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这是一款数字质量流量装置,采用稳定性优异的高速绕线传感器和小型比例电磁阀,结构紧凑,标配通信功能(RS485),实现高精度和高速响应。 *2高速响应和出色的零点稳定性。输入/输出信号为0-5V,电源为±15V。电源连接器采用高度通用的 D-sub 9 槽连接器。通过切换旋转开关,可以使用主机中注册的气体类型。符合 RoHS 和 CE 标准。读数单元是一种方便的单元,通过将其连接到质量流量控制器或质量流量计,您可以使用流量测量和控制等基本质量流量功能以及流量积分功能和流量事件输出功能用电缆。
模型 | EX-250S-M |
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电源电压 | ±15V |
流体 | 氮气 |
F.S.流量 | 10SCCM |
校正温度 | 20℃ |
输出信号 | 电压输出 |
传感器方式 | 热线绕传感器 |
目标气体 | 氮气 |
流量范围 | 10SCCM |
控制范围 | 2~100%(满量程) |
反应能力 | 全流量制御范囲 1sec以内(within±2%F.S.) |
精度 | ±1.0%满量程 |
再现性 | ±0.2%F.S. |
最大入口压力 | 500kPa(重力) |
耐压性 | 980kPa(气压) |
他漏了箱子 | 1×10-⁸Pa・m³/sec以下 |
允许环境温度 | 5~50℃ |
精度保证温度 | 15~35℃ |
允许储存温度 | -10~60℃ |
允许环境湿度 | 10~90%RH(无凝露) |
气体接触部件 | SUS316、SUS316L、磁性不锈钢(仅控制器)、PTFE、FKM |
电气连接 | Dsub9 针 RJ45 连接器 x 2 |
流量出力信号 | 0~5VDC(负荷抵抗 10k Ω以上) |
数字信号 | 通过RS485旋转开关设置地址 |
所要电源(DC) | +15VDC(±5%)100mA以下 |
配件 | 1/4SWL(127.4) |
安装位置 | 建议水平方向 |
重量 | 440克 |
数量 | 1个 |