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质量流量计 EX-700 无阀 100mL/min

质量流量计 EX-700 无阀 100mL/min

产品描述:

该装置基于Exact“精确的流量测量”和Exclent“卓越的功能”的概念而商品化。我们有 11 个标准系列库存,涵盖从小流量 (F.S.10sccm) 到大流量 (F.S.200slm)。配备新型高性能传感器的低成本型号。体积小、重量轻,采用单24V直流电源供电。标准配备RS485通讯功能。符合 RoHS 和 CE 标准。集成显示,操作简单(瞬时累计流量显示、气体类型切换、CF任意设定、上下限报警设定、单独流量变更、低切设定、站号设定、通信传输速度变更等)

  • 发布时间:2024-11-14 05:14:16
  • 产品代码:0299562353
  • 制造商:EX700-0-1/4SWL-F3
  • 产地:日本
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产品描述

该装置基于Exact“精确的流量测量”和Exclent“卓越的功能”的概念而商品化。我们有 11 个标准系列库存,涵盖从小流量 (F.S.10sccm) 到大流量 (F.S.200slm)。配备新型高性能传感器的低成本型号。体积小、重量轻,采用单24V直流电源供电。标准配备RS485通讯功能。符合 RoHS 和 CE 标准。集成显示,操作简单(瞬时累计流量显示、气体类型切换、CF任意设定、上下限报警设定、单独流量变更、低切设定、站号设定、通信传输速度变更等)

产品规格

模型 EX700-0-1/4SWL-F3
配件 1/4SWL
流体 氮气
流量 100毫升/分钟
传感器方式 热绕法
流量范围 10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM50/100/200SLM
指定气体 10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM(N2,Air,H2,He,Ar,O2等/基于CF转换切换)50/100/200SLM(N2(Air,Ar,O2,等等/基于CF转换的切换))
精度 ±1.0%F.S.(25℃)10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM±1.5%F.S.(25℃)50/100/200SLM
温度系数 ±0.2%F.S/℃(15~35℃) *仅200SLM ±0.4%F.S/℃
再现性 ±0.2%F.S.
耐压性 980kPa(气压)
校正温度 20℃
电流输出 4~20mA
允许温度范围 5~50℃
允许储存温度 -5~60℃
允许工作湿度 10~90%RH(无凝露)
气体接触材料 SUS316、SUS316L、PTFE、FKM(NBR、CRP可选)
电气连接 DC 插孔或 Dsub9 针公头
数字通讯 RS485(MODBUS协议,RTU模式)ID:1-247
所要电源 24VDC(±10%) 100mA以下
安装位置 建议水平方向
输出 输出方式:NPN集电极开路2点(*大额定值:DC30V 5mA) 输出数量:2点(每路输出可选择设置瞬时流量上限、下限或累计到达,1点还可选择累计脉冲)输出可逆事件 显示:LED灯(OUT1、OUT2)点亮 模拟输出:4-20mA(500Ω以下) *也可提供0-5V(10kΩ以上)或1-5V(10kΩ以上)。
本体重量 约 600g
补充规格 *流体为氮气。还可以指定其他气体。请联系我们。 *对于精密针阀,请注明一次压力和二次压力。 *可指定的气体为干燥气体,除不含腐蚀性粉尘或雾气的清洁气体和氮气外,将根据数据计算值进行切换。 *精度与 N2 满量程的流量分配相同。根据测量数据保证气体类型,但不保证准确性。 *订购输出 V/I 时选择。

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N2以外的气体种类,可通过CF值换算改变显示刻度,直接读取。通过按钮操作可以轻松改变显示比例。如果您使用下列气体以外的气体,请联系我们。 N2:CF值(1.0):5.00L/min空气,O2,CO:CF值(1.0):5.00L/minH2:CF值(1.02):5.10L/minNO:CF值(0.99):4.95L/minAr: CF值(1.44):7.20L/minHe:CF值(1.43):7.20L/minCO2:CF值(0.74):3.70L/minCH4:CF值(0.76):3.80L/min13A,SO2,N2O:CF值(0.7):3.50L/min *换算流量 = 显示流量 x CF 值 *使用 N2 气体时,保证流量精度。 *使用其他气体时,误差可能会变大。