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质量流量控制器 1/4SW 100SCCM N2

质量流量控制器 1/4SW 100SCCM N2

产品描述:

这是一款数字质量流量装置,采用稳定性优异的高速绕线传感器和小型比例电磁阀,结构紧凑,标配通信功能(RS485),实现高精度和高速响应。 *2高速响应和出色的零点稳定性。输入/输出信号为0-5V,电源为±15V。电源连接器采用高度通用的 D-sub 9 槽连接器。通过切换旋转开关,可以使用主机中注册的气体类型。符合 RoHS 和 CE 标准。读数单元是一种方便的单元,通过将其连接到质量流量控制器或质量流量计,您可以使用流量测量和控制等基本质量流量功能以及流量积分功能和流量事件输出功能用电缆。

  • 发布时间:2024-11-09 08:52:31
  • 产品代码:0299562342
  • 制造商:EX-250S-C
  • 产地:日本
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产品描述

这是一款数字质量流量装置,采用稳定性优异的高速绕线传感器和小型比例电磁阀,结构紧凑,标配通信功能(RS485),实现高精度和高速响应。 *2高速响应和出色的零点稳定性。输入/输出信号为0-5V,电源为±15V。电源连接器采用高度通用的 D-sub 9 槽连接器。通过切换旋转开关,可以使用主机中注册的气体类型。符合 RoHS 和 CE 标准。读数单元是一种方便的单元,通过将其连接到质量流量控制器或质量流量计,您可以使用流量测量和控制等基本质量流量功能以及流量积分功能和流量事件输出功能用电缆。

产品规格

模型 EX-250S-C
电源电压 ±15V
流体 氮气
F.S.流量 100SCCM
校正温度 20℃
输入信号 电压输入
输出信号 电压输出
工作压力 150~300kPa
传感器方式 热线绕传感器
阀门方式 比例电磁阀(断电时关闭)
目标气体 氮气
流量范围 100SCCM
控制范围 2~100%(满量程)
反应能力 总流量控制范围:1秒以内(±2%F.S.以内)、150kPa~300kPa
精度 ±1.0%满量程
再现性 ±0.2%F.S.
工作压差 50~300kPa
最大入口压力 500kPa(重力)
耐压性 980kPa(气压)
他漏了箱子 1×10-⁸Pa・m³/sec以下
允许环境温度 5~50℃
精度保证温度 15~35℃
允许储存温度 -10~60℃
允许环境湿度 10~90%RH(无凝露)
气体接触部件 SUS316、SUS316L、磁性不锈钢(仅控制器)、PTFE、FKM
电气连接 Dsub9 针 RJ45 连接器 x 2
流量设定输入信号 0~5VDC(输入阻抗约1MΩ)
流量出力信号 0~5VDC(负荷抵抗 10k Ω以上)
数字信号 通过RS485旋转开关设置地址
所要电源(DC) +15VDC(±5%)100mA以下、-15VDC(±5%)150mA以下or+24VDC(±10%)180mA以下
配件 1/4SWL(127.4)
安装位置 建议水平方向
重量 500克
数量 1个

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