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类型 | 质量流量控制器+交流电源适配器(规格选择产品) |
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流量范围 | 10毫升/分钟~20升/分钟 |
配件 | RC1/4 |
数量 | 1个 |
控制范围 | 2~100%满量程 |
精度 | ±10%满量程(25℃) |
耐压性 | 1MPa(G) |
使用温度 | 5~45℃ |
气体接触材料 | SUS316、氟橡胶 |
沟通 | RS485 |
电源 | DC24V±10%消费电流300mA以下 |
信号 | 0~5VDC |
规格补充 | *流体:请指定任何校准流体。 (CF换算表中的气体种类) 根据流体的不同,可能无法制造。请联系我们。 *流量范围:请选择最大流量。 (N2换算20℃、1atm) *配件:也可以更换软管接头等配件。请联系我们。 *换算流量 = 显示流量 x CF 值 *通过换算成 CF 值,即使是 N2 以外的气体类型,也可以通过改变显示刻度来直接读取。例如,如果Ar气流过上例中校准的MFC(刻度值100SCCM),则可以通过将刻度值更改为144SCCM(100×1.44)来直接读取。 *用作换算时,使用氮气时可保证流量精度。 |