该装置基于Exact“精确的流量测量”和Exclent“卓越的功能”的概念而商品化。我们有 11 个标准系列库存,涵盖从小流量 (F.S.10sccm) 到大流量 (F.S.200slm)。配备新型高性能传感器的低成本型号。体积小、重量轻,采用单24V直流电源供电。标准配备RS485通讯功能。符合 RoHS 和 CE 标准。集成显示,操作简单(瞬时累计流量显示、气体类型切换、CF任意设定、上下限报警设定、单独流量变更、低切设定、站号设定、通信传输速度变更等)
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该装置基于Exact“精确的流量测量”和Exclent“卓越的功能”的概念而商品化。我们有 11 个标准系列库存,涵盖从小流量 (F.S.10sccm) 到大流量 (F.S.200slm)。配备新型高性能传感器的低成本型号。体积小、重量轻,采用单24V直流电源供电。标准配备RS485通讯功能。符合 RoHS 和 CE 标准。集成显示,操作简单(瞬时累计流量显示、气体类型切换、CF任意设定、上下限报警设定、单独流量变更、低切设定、站号设定、通信传输速度变更等)
模型 | EX700-V-3/8SWL-F10 |
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配件 | 3/8SWL |
流体 | 氮气 |
流量 | 100升/分钟 |
传感器方式 | 热绕法 |
流量范围 | 10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM50/100/200SLM |
指定气体 | 10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM(N2,Air,H2,He,Ar,O2等/基于CF转换切换)50/100/200SLM(N2(Air,Ar,O2,等等/基于CF转换的切换)) |
精度 | ±1.0%F.S.(25℃)10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM±1.5%F.S.(25℃)50/100/200SLM |
温度系数 | ±0.2%F.S/℃(15~35℃) *仅200SLM ±0.4%F.S/℃ |
再现性 | ±0.2%F.S. |
耐压性 | 980kPa(气压) |
校正温度 | 20℃ |
电流输出 | 4~20mA |
允许温度范围 | 5~50℃ |
允许储存温度 | -5~60℃ |
允许工作湿度 | 10~90%RH(无凝露) |
气体接触材料 | SUS316、SUS316L、PTFE、FKM(NBR、CRP可选) |
电气连接 | DC 插孔或 Dsub9 针公头 |
数字通讯 | RS485(MODBUS协议,RTU模式)ID:1-247 |
所要电源 | 24VDC(±10%) 100mA以下 |
安装位置 | 建议水平方向 |
输出 | 输出方式:NPN集电极开路2点(最大额定值:DC30V 5mA) 输出数量:2点(每路输出可选择设置瞬时流量上限、下限或累计到达,1点还可选择累计脉冲)输出可逆事件 显示:LED灯(OUT1、OUT2)点亮 模拟输出:4-20mA(500Ω以下) *也可提供0-5V(10kΩ以上)或1-5V(10kΩ以上)。 |
本体重量 | 约 700g |
规格补充 | *流体为氮气。还可以指定其他气体。请联系我们。 *对于精密针阀,请注明一次压力和二次压力。 *可指定的气体为干燥气体,除不含腐蚀性粉尘或雾气的清洁气体和氮气外,将根据数据计算值进行切换。 *精度与 N2 满量程的流量分配相同。根据测量数据保证气体类型,但不保证准确性。 *订购输出 V/I 时选择。 |