日本三丰白光干涉单元 554-003 554-001

主要特点

利用白光干涉的非接触式高精度精细表面纹理测量→3D形状测量、3D粗糙度测量

高度测量精度与光学放大倍率无关

即使使用低倍率镜头也可进行高 Z 分辨率测量

高纵横比测量

支持高纵横比形状测量，检测不依赖于光学系统的数值孔径

抗干扰振动的高鲁棒性

小巧轻便

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WLI-unit-003

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WLI-unit-010